张大成
张大成先生,1961年出生,中国国籍,理学博士。本公司独立董事。现任北京大学集成电路学院教授、工艺实验室主任。其研究成果“硅基MEMS加工技术及应用研究”获得国家技术发明二等奖;“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得上海市科学技术发明一等奖;获得30多项微纳工艺、传感器、执行器、试验方法相关发明专利授权;IEC MEMS领域首个来自中国提案标准的项目负责人。
人物介绍
系统摘要
张大成先生,1961年出生,中国国籍,理学博士。本公司独立董事。现任北京大学集成电路学院教授、工艺实验室主任。其研究成果“硅基MEMS加工技术及应用研究”获得国家技术发明二等奖;“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得上海市科学技术发明一等奖;获得30多项微纳工艺、传感器、执行器、试验方法相关发明专利授权;IEC MEMS领域首个来自中国提案标准的项目负责人。
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博士
张大成先生,1961年出生,中国国籍,理学博士。本公司独立董事。现任北京大学集成电路学院教授、工艺实验室主任。其研究成果“硅基MEMS加工技术及应用研究”获得国家技术发明二等奖;“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得上海市科学技术发明一等奖;获得30多项微纳工艺、传感器、执行器、试验方法相关发明专利授权;IEC MEMS领域首个来自中国提案标准的项目负责人。